-Як/Ду дар
Чорчӯба ва камера аз пӯлоди зангногир карбон сохта шудаанд.
Ҳар як дар як равзанаи санҷишро барои назорати визуалии раванд таъмин мекунад.Деворҳои дарҳо як қабати аз пӯлоди зангногирро таъмин мекунанд, ки барои нигоҳдорӣ ба осонӣ хориҷ карда мешаванд.
- Палатаи вакууми фармоишӣ
Палатаи дохилии пӯлоди зангногирро барои тоза кардан ба осонӣ хориҷ мекунад.
Насосҳо дар қисми паси он меистанд.
Камера дорои як қатор фланецҳои хурд барои ченкунӣ мебошад.
-Системаи насосии баланди вакуумӣ
Насоси диффузионӣ+Насоси пурқувваткунанда+Насоси механикӣ
- Ченкунӣ ва назорати вакуумӣ
Бо ченаки металлии Пиранӣ + ченаки ионизатсияи металлӣ
-Системаи ҳаракати асбобҳо
-Шӯъбаи назорати PLC
-Системаи бухоркунии алюминий бо трансформатори пурқувват
-Чорчӯбаи оҳанин
Сохтор оқилона аст
Қабати плёнка яксон аст
Сифати ташаккули филм
Суръати баланди насос, давраи кӯтоҳи корӣ ва самаранокии баланди истеҳсолот
Амалиёт қулай аст
Истеъмоли ками энергия ва кори устувор
Рақами модел | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Модели ду дар ё ду камера мавҷуданд | |
Андозаи камераи вакуумӣ (диаметр * баландӣ) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Маводи камераи вакуумӣ | Пӯлоди карбон, SUS304 ё SUS316L | ||||||
Технологияи кор | бухоршавии муқовимати вакуумӣ бо филаментҳои волфрам ва алюминий, трансформатори бухоркунии нерӯи баланд | ||||||
Системаи насосӣ | Насоси диффузионӣ+насосҳои механикӣ, насоси пурқувваткунанда | ||||||
Вақти обкашӣ | Аз атмосфера то 5,0*10-2Па камтар аз 8 дақиқа | ||||||
Маҳдудияти вакуум | 5,0*10-4 Па | ||||||
Ҳарорати корӣ | Ҳарорати хона | ||||||
Реҷаи кор | Ҳолати худкор ё дастӣ, бо 10,4 дюймаи PLC ба экран ламс мекунад | ||||||
Қувваи умумӣ | 40-80 кВт | 70-140 кВт | |||||
Изи пои | 2*2 метр | 2*3 метр | 3*3 метр | 3*3 метр | 3*4 метр | 4*5 метр | 5*6 метр |
Ин воҳидҳоро шумо метавонед фармоиш диҳед | 1. Андозаи камераи вакуумӣ 2. Конфигуратсияҳои насосҳо | ||||||
Воситаҳои ихтиёрӣ | 1. Детектори ихроҷ 3. Системаи пошидани ионҳои камон 4. Системаи пошидани магтрон |